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精密零件加工领域中所谓内应力，就是当外界载荷去掉后，仍残留在工件内部的应力。内应力是工件在加工过程中其内部宏观或微观组织因发生了不均匀的体积变化而生产的。
具有内应力的零件处于一种不稳定的相对平衡状态，可以保持形状精度的暂时稳定。但它的内部组织有强烈的倾向要恢复到一种稳定的没有内应力的状态，一旦外界条件产生变化，如环境温度的改变、继续进行切削加工、受到撞击等，内应力的暂时平衡就会被打破而进行重新分布，零件将产生相应的变形，从而破坏原有的精度。
精密零件加工中为减小或消除内应力对零件加工精度的影响，在设计零件结构时，应尽量简化结构，考虑壁厚均匀，以减少在铸、锻毛坯制造中产生的内应力，切削加工时，应将粗、精加工分开在不同的工序进行，是粗加工后有一定的间隔时间让内应力重新分布，以减少对精加工的影响。
